步进压电平台SPS35XS是基于步进压电致动器（SPA）的原理设计。它可以提供：
♦更长的行程
♦微/纳米分辨率的定位
它可以通过LA75系列的单通道线性放大器驱动。这种平台可以运行超过10e6个周期，这是由于它采用了先前广受好评的摩擦面设计。该步进压电平台可以应用于微定位和阀门等领域中。其他指标的步进压电平台可以通过使用更小或更大的APA®致动器改造而成。
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参数
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单位
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SPS35XS
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型号
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V- SPSXS35
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备注
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Preliminary data
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传感器
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MAG
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主动轴
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TX
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最大空载位移[Tx]
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mm
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5
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Z方向的最大面外位移
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um
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10
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Z方向的最大转动
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urad
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0
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XY方向的最大转动
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urad
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5
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电压范围
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V
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-20…150
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硬度
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N/um
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0.5
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高度(Z 轴)
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mm
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15
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尺寸(X & Y 轴)
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mm
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30*30
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分辨率
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nm
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35.0
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质量
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g
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20
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空载共振频率(在致动方向)
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Hz
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200
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响应时间
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ms
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2.50
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电容 (每个电气接口)
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uF
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0.25
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使用寿命（周期）
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1.E+06
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机械接口(有效负载)
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4M1.6螺纹孔[]17*27
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机械接口(框架)
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4M1.6螺纹孔[]17*22
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电气接口
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1RG 178B/U 同轴电缆
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