压电物镜定位器OPP120SM采用了 CEDRAT标准放大压电致动器和一个用于保持物镜垂直方向精确运动的导座组成。
APA实现了行程和硬度之间的平衡,因此非常适用于快速共焦显微镜。与物镜之间的接口可以根据要求定制,并可配备涡流传感器。
参数
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单位
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OPP120SM
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型号
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V- OPPSM120
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备注
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-
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传感器
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SG,ECS
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主动轴
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TZ
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最大空载位移[Tz]
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um
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140
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最大转动[Rx, Ry]
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urad
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25
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电压范围
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V
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-20…150
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分辨率
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nm
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14
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硬度
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N/um
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0.71
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高度(Z 轴)
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mm
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50.0
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尺寸
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mm
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65*40
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质量
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g
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180
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空载共振频率(在致动方向)负载=50g
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Hz
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600
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负载响应时间
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ms
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1.14
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电容 (每个电气接口)
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uF
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3.15
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机械接口(有效负载)
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物镜接口 M25 *0.75(指定)
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机械接口(框架)
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显微镜接口(最大 M25 *0.75)
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电气接口
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1RG 178B/U 同轴电缆
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