双倾斜平移台采用了2对APA35XS，可以产生3种类型的运动：
♦当两对APA35XS同步致动时，Z轴运动（平移）可达35 μm
♦ 当两个致动器以相反的相位致动时，ΘX 和/或 ΘY 运动（倾斜）可达+/- 2 mrad
双倾斜平移台基于致动器设计，配备应变计以消除回程差。为了获得三维运动，需要4通道的驱动器。如果只要求两个倾斜运动，则只需要两个通道即可。（可使用75系列驱动器的推拉模式）
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参数
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单位
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DTT35XS
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型号
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V- DTTXS35
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备注
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初步数据
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传感器
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SG
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主动轴
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RX,RY,TZ
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最大空载位移[Tz]
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um
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35.0
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最大角位移
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mrad(+/-)
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2.00
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出平面位移[Tx, Ty]
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um
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10.0
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电压范围
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V
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-20…150
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硬度
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N/um
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2.0
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高度(Z 轴)
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mm
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22.0
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直径
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mm
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38.1
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纵向分辨率[Tz]
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nm
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0.4
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角度分辨率[Rx,Ry]
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urad
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0.02
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质量
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g
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35
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空载共振频率（在致动方向）
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Hz
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3200
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响应时间
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ms
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0.16
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电容(每个电气接口)
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uF
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0.50
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机械接口(有效载荷)
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平坦表面Ф15mm
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机械接口(框架)
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圆柱形 Ф38.1mm
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电气接口
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PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long and shield with sub D15 connector
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