倾斜平移台采用了2个APA®致动器，可以产生两种类型的运动：
♦Z当两个致动器同步致动时，轴运动（平移）可达80μm
♦当两个致动器相反致动时，ΘX运动（平移）可达+/- 0.6°
倾斜平移台TT60SM基于APA60SM而设计，配备应变计以消除回程差。如果只要求倾斜运动，仅需要一个通道。TT60SM要求使用推拉式驱动器。
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参数
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单位
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TT60SM
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型号
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V- TT60SM
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备注
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-
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传感器
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SG
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主动轴
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TZ,RX
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最大空载位移[Tz]
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um
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80.0
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角位移[Rx]
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mrad(+/-)
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11.00
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Y方向的最大面外位移
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um
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25.0
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电压范围
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V
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-20…150
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硬度
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N/um
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2.0
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高度(Z 轴)
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mm
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18.0
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宽度(Y 轴)
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mm
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13.0
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长度(X 轴)
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mm
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25.0
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纵向分辨率[Tz]
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nm
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0.8
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角度分辨率[Rx]
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urad
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0.1
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质量
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g
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65
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空载共振频率(在致动方向)
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Hz
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3000
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响应时间
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ms
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0.17
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电容 (每个电气接口)
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uF
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1.55
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机械接口(有效负载)
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平坦表面 2.5 *8mm2
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机械接口(框架)
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2 M2螺纹孔
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电气接口
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4 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug
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