压电平台XY200M沿X，Y和Z轴的行程为200 μm，最高可以承受3kg的负载。应用领域包括共焦微镜，掩膜定位和检测。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度。平台可以配备精度可达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。
这种结构要求驱动器的前两个通道为推拉式。
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参数
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单位
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XYZ200M
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型号
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V-XYZM200
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备注
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-
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传感器
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SG,ECS
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主动轴
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TX,TY,TZ
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最大空载位移[Tx,Ty]
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um
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180
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Z方向最大面外位移
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um
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200
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Z方向的最大转动
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urad
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240
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XY方向的最大转动
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urad
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50
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电压范围
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V
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-20…150
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硬度
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N/um
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0.66
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高度(Z 轴)
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mm
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44.0
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尺寸(X&Y 轴)
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mm
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100*100
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分辨率
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nm
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1.8
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质量
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g
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540
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空载共振频率(在致动方向)
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Hz
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380
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响应时间
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ms
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1.32
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电容(每个电气接口)
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uF
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6.30
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机械接口(有效负载)
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物镜接口最大4/55 *1.36(指定)
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机械接口(框架)
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4 Ф4.5mm 孔 []84
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电气接口
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3 RG178B/U 同轴电缆
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