压电平台XY200M沿X和Y轴的行程为200 μm,最高可承受3kg的负载。应用领域包括原子力或扫描隧道显微镜和掩膜定位等等。这种平台基于APA200M设计,具有很高的硬度,可以配备精度可达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X,Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。紧凑型XY25XS平台非常适合用于光纤定位,微扫描等应用。
参数
|
单位
|
XY25XS
|
XY200M
|
型号
|
|
V-XYXS25
|
V-XYM200
|
备注
|
|
-
|
-
|
传感器
|
|
SG
|
SG,ECS
|
主动轴
|
|
TX,TY
|
TX,TY
|
最大空载位移[Tx,Ty]
|
um
|
25
|
200
|
Z方向最大面外位移
|
um
|
0.50
|
1.00
|
Z方向的最大转动
|
urad
|
50
|
240
|
XY方向的最大转动
|
urad
|
10
|
50
|
电压范围
|
V
|
-20…150
|
-20…150
|
硬度
|
N/um
|
2.50
|
0.59
|
高度(Z 轴)
|
mm
|
18.0
|
22.0
|
尺寸(X&Y 轴)
|
mm
|
50*50
|
100*100
|
分辨率
|
nm
|
0.3
|
2.0
|
质量
|
g
|
80
|
180
|
空载共振频率(在致动方向)
|
Hz
|
3000
|
580
|
响应时间
|
ms
|
0.17
|
0.86
|
电容 (每个电气接口)
|
uF
|
0.50
|
6.30
|
机械接口(有效负载)
|
|
1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm
|
3Ф2.7mm holes on
Ⅱ38
|
机械接口 (框架)
|
|
4 Ф2.8mm holes on []45
|
4 Ф4.5mm holes on []84
|
电气接口
|
|
2 RG178B/U同轴电缆
|
2 RG178B/U同轴电缆
|
如需要点击下载此文件资料,请点击
注册/
登陆A&P网站,谢谢!