参数

单位

X60S

X120S

型号

V-XS60

V-XS120

备注

初步数据

初步数据

传感器

SG

SG

主动轴

TX

TX

最大空载位移[Tx]

um

55

115

Z方向最大面外位移

um

0.50

0.50

Z方向的最大转动

urad

-

-

XY方向的最大转动

urad

5

5

电压范围

V

-20…150

-20…150

硬度

N/um

1.82

0.33

高度(Z 轴)

mm

12

12

尺寸(X&Y 轴)

mm

30*30

30*30

分辨率

nm

0.6

1.2

质量

g

70

70

空载共振频率(在致动方向)

Hz

600

1200

响应时间

ms

0.83

0.42

电容 (每个电气接口)

uF

1.55

1.55

机械接口(有效负载)

4 M3 螺纹孔[]17*17

4 M3螺纹孔[]17*17

机械接口(框架)

4 Ф3.5mm孔 []17*17

4 Ф3.5mm孔 []17*17

电气接口

2 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug

2 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug