LM-0120 激光干涉仪 LM-0100 的技术扩展

技术激光干涉仪的一个基本要素是即使在由于测量反射器位移期间初始调整的修改而可能建立的可变对比度条件下，也能安全地检测亮/暗过渡（条纹）。为了补偿这些影响，以光学方式产生相对于边缘信号 A 相移 180° 的边缘信号 C。通过随后的电子比较器，干扰直流偏移的部分可以从结果信号中消除。为了检测测量反射器的位移方向，以光学方式产生相对于信号 A 相移 90° 的信号 B。此外，还创建了相对于信号C 90°相移的信号D。信号 B 和 D 也经过比较器处理以消除任何偏移。结果，创建了两个彼此具有 90° 相移的无偏移条纹信号，从而允许通过应用正交编码器原理进行方向辨别。与经典迈克尔逊干涉仪的另一个重要区别在于，使用三重反射镜代替镜子，这样光束就不会返回激光源。这种背向反射导致激光源的频率和强度波动，从而伪造了条纹计数。这一扩展提供了将现有迈克尔逊干涉仪转变为技术型干涉仪所需的所有光学组件。一个三重反射器安装在平移台上。所提供的千分尺的活塞销牢固地接触可移动三重反射器的背面。测量的想法是根据激光源的波长来校准仪表的显示，激光源形成仪表的辅助标准。运动产生的条纹由所提供的前向计数器以波长 λ 的分数（如 λ/4、λ/8 甚至 λ/16）进行计数。