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产品名称：六轴电动移动台
产品类型：六轴并联平移台
产品型号：HXP100P-MECA
产品品牌：Newport
行业应用：激光器制造,光/激光检测
特点：
线性行程 (X, Y, Z) ±27.5 mm, ±25 mm, ±14mm
角度行程 (Θx, Θy, Θz) ±11.5°, ±10.5°, ±19°
最小增量运动 (X, Y, Z) 0.1 µm, 0.1 µm, 0.05 µm
最小增量运动 (Θx, Θy, Θz) 0.00005° (0.8 µrad), 0.00005°, 0.0001°
重复性 (X, Y, Z) 0.2 µm, 0.2 µm, 0.1 µm
重复性 (θx, θy, θz) 0.0001°, 0.0001°, 0.0002°
最大速度 (X, Y, Z) 12 mm/s, 10 mm/s, 5 mm/s
最大速度 (Θx, Θy, Θz) 8 °/s, 8 °/s, 16°/s
负载 6 kg

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