2021年12月，靈感來自於一篇深圳中能高重複頻率X射線自由電子實驗站以及與中山大學合作的實驗站配套建設的測試項目，仔細閱讀《激光等離子體13.5nm極紫外光刻光源進展》以及參考ASML，TRUMP,ZEISS相關信息，萌發了搭建一個小型，低成本的桌面型eUV光源，市場能夠看到的光源如下：

大型自由電子X激光源(FEL模式)

ASML系統EUV光源(LPP模式)

荷蘭ISTEQ公司臺式EUV光源（LPP模式）

經過數個月準備，先期在廣州實驗室自制測試儀器，驗證實驗信號，完善實驗中的激光防護和安全條件，最終在深圳實驗室實現13.5nm的X激光在60w和200w泵浦條件下均實現信號輸出，令科藝公司在南中國大灣區首次獲得eUV激光源的輸出。展現了大灣區科技應用的典型特點：低成本，高效率，快速轉化的綜合科技轉化能力。

（早幾年哈工大本部採用DPP模式獲得X激光輸出，上海光機所採用LPP模式獲得X激光輸出）

科藝桌面型eUV光源(LPP模式)

由於所有實驗是非真空環境條件下進行，激光損耗和散射比較大，理論估計本次實驗數據如下：

1.輸出波長13.5nm

2.輻射總能量：7mW@60W CO2 泵浦（Ti60）

                     12mW@200W CO2 泵浦 （F201）

3.測試裝備：26所特製5*5*5閃爍體+Thorlab光探測器2套（慢速高靈敏+高速低靈敏）

                  通用輻射計1套

@200W泵浦時信號

@60W泵浦時信號

輻射計信號

基於初步實驗過程，充分有效地鍛鍊了我們團隊解決新問題的應變能力，也印證了科藝公司多年在激光應用領域豐厚的技術沉澱和靈活高效的操作手段。

未來，科藝公司也將繼續與中山大學及其相關夥伴共同推進此項技術在超分辨成像儀器方面做一些探索與貢獻。

伍慶華

2022-7-22於廣州