Motion & Vibration Control
運動控制與振動控制

 

菲克科技 Feinixs - 提供用於精密定位的高速I高精度I高穩定性運動控制產品

Feinixs的產品系列主要包含:線性位移、旋轉位移、垂直位移的運動控制產品,並提供配套的驅動控制器。

 

明立Meiritsu - 一家生產隔振臺和光學麵包板的製造商

產品涵蓋光學平臺、超大型平臺、無磁平臺、自由組合型平臺等等,主動除振平臺技術在國際間位居前列,在FPD領域集中的韓國,過關斬將,成為各大面板廠家設備的必選產品。已經在中國、韓國設立工廠,為當地客戶提供定製化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優質、有保障的產品和服務。

 

CEDRAT - 基於壓電陶瓷的致動器和電機

為了滿足不同的客戶驅動規格,CEDRAT開發了不同系列的標準壓電致動器及其相應的驅動器和控制器:

  • ● 並聯預應力致動器(PPA)
  • ● 放大壓電致動器(APA®)
  • ● 壓電位移臺
  • ● 快速轉向鏡
  • ● 快速壓電快門

 

EXCELITAS - LINOS - 精密光機產品

提供各種精密光機產品,包括Microbench Cage系列、Nanobench Cage系列、鏡座、立柱、支架和位移臺,以及封閉的Tube-C系列、導軌系列和耐用的X-95 Profile系列。

 

Feinixs的產品系列主要包含:線性位移、旋轉位移、垂直位移的運動控制產品,並提供配套的驅動控制器。

 

  • • 電動平移臺



    電動平移臺涵蓋了範圍⼴泛的精密線性定位平臺, 用於實現精確平移運動。

 

  • • 電動旋轉臺



    電動旋轉臺用於精確控制旋轉角度和速度,用於進行精確的位置定位、測試、測量和加工等工作

 

  • • 電動升降臺



    電動升降臺為三維掃描提供了Z軸位移,靈巧的設計讓升降臺可以應用於空間受限的場景。

 

  • • 運動系統



    我們提供多軸的運動控制系統,並確保系統精度。除了普通版本外,我們也提供不鏽鋼版本、真空版本。

 

  • • 控制驅動



    我們驅動控制覆蓋:伺服電機、壓電驅動、步進電機。

 

 

到目前為止,明立(Meiritz)積累的專業知識和專業能力已經生產了600多種被動隔振器,。隨著超高精度製造業需求的不斷增長,如半導體,明立(Meiritz)也推出了主動型的隔振器,來解決製造或實驗過程中因振動帶來的問題。

產品涵蓋光學平臺、超大型平臺、無磁平臺、自由組合型平臺等等,主動隔振平臺技術在國際間位居前列,在FPD領域集中的韓國,過關斬將,成為各大面板廠家設備的必選產品。已經在中國、韓國設立工廠,為當地客戶提供定製化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優質、有保障的產品和服務。

 

光學平臺系統

 

  • • AYA 系列-採用蜂窩結構桌面的空氣彈簧式隔振裝置



    蜂窩桌面空氣彈簧式隔振裝置,隔振性能升級,機構多樣。
    Meiritsu Seiki 專有的平行擺動機構增強了水平隔振性能。排除了垂直和水平各個方向的細微振動,滿足干涉儀和全息術等光學實驗的需要。此外,各結構的性能也得到了進一步改進。 這是一種高性能的隔振裝置,通過蜂窩麵包板改善了面板的輕量化但保持了高剛性的特性。

    應用行業:
    • 光學和激光實驗

 

工作臺型光學隔振平臺

 

  • • ADZ-A 系列- 桌子型空氣彈簧隔振平臺



    兼具性價比、隔振性能和可操作性的新型系列。
    ADZ-A系列是暢銷的ADZ系列的高度升級版本。
    隔振性能進一步增強,工作舒適性大大提高,並增加了更大的安裝面板尺寸。此外,為了使安裝在隔振器上的設備具有更好的可操作性,有許多選項可供選擇。
    這些因素共同創造了一種高性價比的隔振裝置,無論設備類型或使用場所如何,都可以使用。

    應用:


 

桌面型隔振平臺

 

  • • AVT系列- 桌面型空氣彈簧隔振平臺



    AVT系列是一款用來配套精密儀器的高性能臺式隔振平臺
    此款臺式減振平臺採用先進的空氣懸架式隔振器。所有隔振功能都集成在一個緊湊的主機上。共有16 種型號來應對不同的精密機器的特徵和隔振需求,且能夠簡易地構建出高性能的隔振環境。

    典型應用:

  • • ME系列-桌面型主動隔振平臺



    三維(六自由度)桌面型主動隔振平臺
    該平臺可以控制三個維度(六個自由度)的振動,同時連續監測負載臺的振動。通過內置的驅動器施加反向位的力,通過這種方式實現振動控制。

 

  • • AET系列- 桌面式鋼蜂窩空氣懸架隔振平臺



    集成了高性能隔振系統的桌面式鋼蜂窩表面板空氣彈簧式隔振光學平臺
    隨著激光器本體和外圍設備的小型化以及光纖技術的改進,光學實驗通常不需要像過去那樣長的光路。Meiritsu Seiki一直在提供一系列許多桌面型隔振設備。AET系列將其與鋼蜂窩表面板相結合,是小面積光學實驗的理想隔振裝置。

    應用:



 

隔振器

 

  • • MAPS 系列- 氣動控制的主動隔振系統



    六自由度主動控制為所有自由度的振動提供出色的隔振、阻尼和定位性能
    MAPS 系列是一種主動隔振裝置,它將所有必要的功能組合成一個緊湊的裝置,因此可以很容易地集成到客戶的設備中。

    應用行業:
    • 半導體

 

  • • MRZ系列-主動式氣懸浮系統



    在MAPS系列的基礎上,我們開發了高性能、合理的主動氣動懸架系統MRZ系列!

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體工業

    應用:
    • FPD、半導體設備、電子顯微鏡、UHV-SPM、測量儀器、超精密機等。

 

  • • AP大負載空氣彈簧式隔振器



    AP 系列產品是為精密儀器量身定做,由低成本、最適合您精密儀器的隔振系統構成的。
    我們的隔振裝置,除了具有優秀的性能外,更重視產品的靈活性。當今有越來越多的精密儀器需要將最匹配的隔振裝置與精密儀器直接組裝,能夠滿足這類客戶需求的隔振裝置就是我們的 AP 系列。該系列產品不僅擁有優越的隔振性能,還具有強大的拓展性。我們的 AP系列產品可以為您的精密儀器提供更為理想的隔振環境。

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體

    應用:

 

明立的隔振產品廣泛應用於下列領域:

  • • 顯微鏡系統
  • • 光學和激光實驗
  • • 測量和稱重儀器
  • • 半導體制造和精密加工
  • • 納米表面分析
  • • 地震和防災

 

CEDRAT位於格勒諾布爾附近的法國創新谷, 公司有70多名員工。

為了實現和諧發展,CEDRAT鼓勵在員工和合作夥伴之間適用其價值觀3C®:和諧(Concert),協作(Collaboration),真誠(Cordiality)

 

CEDRAT專注於以下領域:

  • 智能驅動器:基於壓電陶瓷、電活性聚合物、超聲波效應、磁致伸縮合金、磁流變液(MRF)和磁效應(移動線圈、移動磁鐵…)的驅動器和電機;應用:微納定位、阻尼、振動產生、聲學換能器、微執行器…
  • 智能傳感器:磁性、磁阻、磁致伸縮、壓電傳感器、變壓器或發電機;力、扭矩、位置、速度、加速度傳感器,包括非接觸式傳感器和共振傳感器。
  • 機電系統:多自由度機構(XY平臺,傾斜);運動控制;振動的主動阻尼;振動(超聲波或聲波)輔助加工;比例閥;快速注射器
  • 檢測系統:健康監測;利用磁或聲效應進行無損檢測;用於位置、力和扭矩遠程測量的遠程檢測系統。
  • 技術培訓課程:CEDRAT 為希望發現、改進或恢復其機電產品、系統和技術知識的工程師和技術人員提供全面的培訓課程。

 

憑藉多年的經驗,CEDRAT的廣泛研發活動由多學科專家團隊進行。其實驗室配備了完整的工程軟件庫和專業測量儀器。

在標準產品和定製解決方案之間,CEDRAT提供了現有的“共用模塊”,以更快地從規範過渡到完整的優化設計和評估原型。

基於智能材料的機電一體化產品廣泛應用於精密快速驅動、光學、儀器和振動控制,滿足航空航天和工業最嚴格的規範

 

 

埃賽力達的LINOS®光機器件使用高精密度的工程技術和高級的材料,可確保在科學研究和光子創新中,提供出色的穩定性、可調節性和高性能。我們可以提供從Qioptiq®獲得的各種精密光機產品,包括Microbench Cage系列、Nanobench Cage系列、鏡座、立柱、支架和位移臺,以及封閉的Tube-C系列、導軌系列和耐用的X-95 Profile系列。

 

LINOS麵包板和安裝板

埃賽力達的LINOS®麵包板和安裝板系列可以作為所有光學實驗裝置的開端。

 

LINOS可變光圈

埃賽力達是Qioptiq®的一員,可提供多種精密的LINOS®光圈、針孔和狹縫結構,可用於實驗裝置中嚴格的光控制。

 

LINOS Microbench光機工作臺籠式系統

Microbench屬於原先的籠式光機系列,小巧緊湊,可精確居中,易於集成和擴展。LINOS® Microbench擁有全面的光學和機械部件,是許多光機裝置不可缺少的一部分。經過優化,可搭配使用從18到31.5毫米直徑的光學器件。

 

LINOS鏡座

鏡座是光學組件中不可或缺的元件。埃賽力達提供的各種底座包括Lees、LINOS® Standard和LINOS Adjust.X系列鏡座,可滿足科學領域和工業領域的廣泛需求。

 

LINOS底座和立柱

埃賽力達有多種LINOS®底座、立柱和支架,包括用於矩形和圓柱形元件的支架,以及用於已安裝和未安裝的光學器件或稜鏡的支架。

 

LINOS Nanobench

LINOS® Nanobench系統是一種精密的構建系列,其光束直徑最大為½",尺寸比LINOS Microbench系統更加緊湊。

 

LINOS調整架

埃賽力達提供種類豐富的精密LINOS®調整架,包括手動調節、線性調節、X-Y位移臺、旋轉位移臺和測角儀,測角儀有多種調節範圍和負載能力。

 

LINOS導軌系統

LINOS®導軌系統可用於構建光學工作臺和光束轉向系統。堅固的鋁合金上的軸承表面經過精密銑削,並進行了耐磨的黑色或無色陽極氧化處理,使這些導軌系統成為線性、平面甚至3維結構的理想基座。

 

LINOS管式系統

埃賽力達還提供了封閉的模塊化LINOS管式系統,用於要求較高的不透光、無塵的實驗裝置,這是對我們的LINOS® Microbench和Nanobench開方式籠式光機系統的補充。

 

菲克科技 Feinixs - 提供用於精密定位的高速I高精度I高穩定性運動控制產品

Feinixs的產品系列主要包含:線性位移、旋轉位移、垂直位移的運動控制產品,並提供配套的驅動控制器。

 

明立Meiritsu - 一家生產隔振臺和光學麵包板的製造商

產品涵蓋光學平臺、超大型平臺、無磁平臺、自由組合型平臺等等,主動除振平臺技術在國際間位居前列,在FPD領域集中的韓國,過關斬將,成為各大面板廠家設備的必選產品。已經在中國、韓國設立工廠,為當地客戶提供定製化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優質、有保障的產品和服務。

 

CEDRAT - 基於壓電陶瓷的致動器和電機

為了滿足不同的客戶驅動規格,CEDRAT開發了不同系列的標準壓電致動器及其相應的驅動器和控制器:

  • ● 並聯預應力致動器(PPA)
  • ● 放大壓電致動器(APA®)
  • ● 壓電位移臺
  • ● 快速轉向鏡
  • ● 快速壓電快門

 

EXCELITAS - LINOS - 精密光機產品

提供各種精密光機產品,包括Microbench Cage系列、Nanobench Cage系列、鏡座、立柱、支架和位移臺,以及封閉的Tube-C系列、導軌系列和耐用的X-95 Profile系列。

 

Feinixs的產品系列主要包含:線性位移、旋轉位移、垂直位移的運動控制產品,並提供配套的驅動控制器。

 

  • • 電動平移臺



    電動平移臺涵蓋了範圍⼴泛的精密線性定位平臺, 用於實現精確平移運動。

 

  • • 電動旋轉臺



    電動旋轉臺用於精確控制旋轉角度和速度,用於進行精確的位置定位、測試、測量和加工等工作

 

  • • 電動升降臺



    電動升降臺為三維掃描提供了Z軸位移,靈巧的設計讓升降臺可以應用於空間受限的場景。

 

  • • 運動系統



    我們提供多軸的運動控制系統,並確保系統精度。除了普通版本外,我們也提供不鏽鋼版本、真空版本。

 

  • • 控制驅動



    我們驅動控制覆蓋:伺服電機、壓電驅動、步進電機。

 

 

到目前為止,明立(Meiritz)積累的專業知識和專業能力已經生產了600多種被動隔振器,。隨著超高精度製造業需求的不斷增長,如半導體,明立(Meiritz)也推出了主動型的隔振器,來解決製造或實驗過程中因振動帶來的問題。

產品涵蓋光學平臺、超大型平臺、無磁平臺、自由組合型平臺等等,主動隔振平臺技術在國際間位居前列,在FPD領域集中的韓國,過關斬將,成為各大面板廠家設備的必選產品。已經在中國、韓國設立工廠,為當地客戶提供定製化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優質、有保障的產品和服務。

 

光學平臺系統

 

  • • AYA 系列-採用蜂窩結構桌面的空氣彈簧式隔振裝置



    蜂窩桌面空氣彈簧式隔振裝置,隔振性能升級,機構多樣。
    Meiritsu Seiki 專有的平行擺動機構增強了水平隔振性能。排除了垂直和水平各個方向的細微振動,滿足干涉儀和全息術等光學實驗的需要。此外,各結構的性能也得到了進一步改進。 這是一種高性能的隔振裝置,通過蜂窩麵包板改善了面板的輕量化但保持了高剛性的特性。

    應用行業:
    • 光學和激光實驗

 

工作臺型光學隔振平臺

 

  • • ADZ-A 系列- 桌子型空氣彈簧隔振平臺



    兼具性價比、隔振性能和可操作性的新型系列。
    ADZ-A系列是暢銷的ADZ系列的高度升級版本。
    隔振性能進一步增強,工作舒適性大大提高,並增加了更大的安裝面板尺寸。此外,為了使安裝在隔振器上的設備具有更好的可操作性,有許多選項可供選擇。
    這些因素共同創造了一種高性價比的隔振裝置,無論設備類型或使用場所如何,都可以使用。

    應用:


 

桌面型隔振平臺

 

  • • AVT系列- 桌面型空氣彈簧隔振平臺



    AVT系列是一款用來配套精密儀器的高性能臺式隔振平臺
    此款臺式減振平臺採用先進的空氣懸架式隔振器。所有隔振功能都集成在一個緊湊的主機上。共有16 種型號來應對不同的精密機器的特徵和隔振需求,且能夠簡易地構建出高性能的隔振環境。

    典型應用:

  • • ME系列-桌面型主動隔振平臺



    三維(六自由度)桌面型主動隔振平臺
    該平臺可以控制三個維度(六個自由度)的振動,同時連續監測負載臺的振動。通過內置的驅動器施加反向位的力,通過這種方式實現振動控制。

 

  • • AET系列- 桌面式鋼蜂窩空氣懸架隔振平臺



    集成了高性能隔振系統的桌面式鋼蜂窩表面板空氣彈簧式隔振光學平臺
    隨著激光器本體和外圍設備的小型化以及光纖技術的改進,光學實驗通常不需要像過去那樣長的光路。Meiritsu Seiki一直在提供一系列許多桌面型隔振設備。AET系列將其與鋼蜂窩表面板相結合,是小面積光學實驗的理想隔振裝置。

    應用:



 

隔振器

 

  • • MAPS 系列- 氣動控制的主動隔振系統



    六自由度主動控制為所有自由度的振動提供出色的隔振、阻尼和定位性能
    MAPS 系列是一種主動隔振裝置,它將所有必要的功能組合成一個緊湊的裝置,因此可以很容易地集成到客戶的設備中。

    應用行業:
    • 半導體

 

  • • MRZ系列-主動式氣懸浮系統



    在MAPS系列的基礎上,我們開發了高性能、合理的主動氣動懸架系統MRZ系列!

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體工業

    應用:
    • FPD、半導體設備、電子顯微鏡、UHV-SPM、測量儀器、超精密機等。

 

  • • AP大負載空氣彈簧式隔振器



    AP 系列產品是為精密儀器量身定做,由低成本、最適合您精密儀器的隔振系統構成的。
    我們的隔振裝置,除了具有優秀的性能外,更重視產品的靈活性。當今有越來越多的精密儀器需要將最匹配的隔振裝置與精密儀器直接組裝,能夠滿足這類客戶需求的隔振裝置就是我們的 AP 系列。該系列產品不僅擁有優越的隔振性能,還具有強大的拓展性。我們的 AP系列產品可以為您的精密儀器提供更為理想的隔振環境。

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體

    應用:

 

明立的隔振產品廣泛應用於下列領域:

  • • 顯微鏡系統
  • • 光學和激光實驗
  • • 測量和稱重儀器
  • • 半導體制造和精密加工
  • • 納米表面分析
  • • 地震和防災

 

CEDRAT位於格勒諾布爾附近的法國創新谷, 公司有70多名員工。

為了實現和諧發展,CEDRAT鼓勵在員工和合作夥伴之間適用其價值觀3C®:和諧(Concert),協作(Collaboration),真誠(Cordiality)

 

CEDRAT專注於以下領域:

  • 智能驅動器:基於壓電陶瓷、電活性聚合物、超聲波效應、磁致伸縮合金、磁流變液(MRF)和磁效應(移動線圈、移動磁鐵…)的驅動器和電機;應用:微納定位、阻尼、振動產生、聲學換能器、微執行器…
  • 智能傳感器:磁性、磁阻、磁致伸縮、壓電傳感器、變壓器或發電機;力、扭矩、位置、速度、加速度傳感器,包括非接觸式傳感器和共振傳感器。
  • 機電系統:多自由度機構(XY平臺,傾斜);運動控制;振動的主動阻尼;振動(超聲波或聲波)輔助加工;比例閥;快速注射器
  • 檢測系統:健康監測;利用磁或聲效應進行無損檢測;用於位置、力和扭矩遠程測量的遠程檢測系統。
  • 技術培訓課程:CEDRAT 為希望發現、改進或恢復其機電產品、系統和技術知識的工程師和技術人員提供全面的培訓課程。

 

憑藉多年的經驗,CEDRAT的廣泛研發活動由多學科專家團隊進行。其實驗室配備了完整的工程軟件庫和專業測量儀器。

在標準產品和定製解決方案之間,CEDRAT提供了現有的“共用模塊”,以更快地從規範過渡到完整的優化設計和評估原型。

基於智能材料的機電一體化產品廣泛應用於精密快速驅動、光學、儀器和振動控制,滿足航空航天和工業最嚴格的規範

 

 

埃賽力達的LINOS®光機器件使用高精密度的工程技術和高級的材料,可確保在科學研究和光子創新中,提供出色的穩定性、可調節性和高性能。我們可以提供從Qioptiq®獲得的各種精密光機產品,包括Microbench Cage系列、Nanobench Cage系列、鏡座、立柱、支架和位移臺,以及封閉的Tube-C系列、導軌系列和耐用的X-95 Profile系列。

 

LINOS麵包板和安裝板

埃賽力達的LINOS®麵包板和安裝板系列可以作為所有光學實驗裝置的開端。

 

LINOS可變光圈

埃賽力達是Qioptiq®的一員,可提供多種精密的LINOS®光圈、針孔和狹縫結構,可用於實驗裝置中嚴格的光控制。

 

LINOS Microbench光機工作臺籠式系統

Microbench屬於原先的籠式光機系列,小巧緊湊,可精確居中,易於集成和擴展。LINOS® Microbench擁有全面的光學和機械部件,是許多光機裝置不可缺少的一部分。經過優化,可搭配使用從18到31.5毫米直徑的光學器件。

 

LINOS鏡座

鏡座是光學組件中不可或缺的元件。埃賽力達提供的各種底座包括Lees、LINOS® Standard和LINOS Adjust.X系列鏡座,可滿足科學領域和工業領域的廣泛需求。

 

LINOS底座和立柱

埃賽力達有多種LINOS®底座、立柱和支架,包括用於矩形和圓柱形元件的支架,以及用於已安裝和未安裝的光學器件或稜鏡的支架。

 

LINOS Nanobench

LINOS® Nanobench系統是一種精密的構建系列,其光束直徑最大為½",尺寸比LINOS Microbench系統更加緊湊。

 

LINOS調整架

埃賽力達提供種類豐富的精密LINOS®調整架,包括手動調節、線性調節、X-Y位移臺、旋轉位移臺和測角儀,測角儀有多種調節範圍和負載能力。

 

LINOS導軌系統

LINOS®導軌系統可用於構建光學工作臺和光束轉向系統。堅固的鋁合金上的軸承表面經過精密銑削,並進行了耐磨的黑色或無色陽極氧化處理,使這些導軌系統成為線性、平面甚至3維結構的理想基座。

 

LINOS管式系統

埃賽力達還提供了封閉的模塊化LINOS管式系統,用於要求較高的不透光、無塵的實驗裝置,這是對我們的LINOS® Microbench和Nanobench開方式籠式光機系統的補充。

概覽 菲克科技 Feinixs - 提供用於精密定位的高速、高精度、高穩定性運動控制產品 明立Meiritsu - 一家生產隔振臺和光學麵包板的製造商 CEDRAT - 基於壓電陶瓷的致動器和電機 EXCELITAS - LINOS - 精密光機產品
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