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產品名稱：6軸並聯動態定位器
產品類型：6軸並聯動態定位器
產品型號：Positioner
產品品牌：Newport
行業應用：
6軸並聯動態定位器

行程(X, Y, Z): ±29, ±26, 28mm
最小(X, Y, Z): 0.5um
重複精度(X, Y, Z): 0.5um
行程(Фx,Фy, Фz):±12度,±10度,±20度
最小步進(Фx,Фy, Фz)運動：5urad
重複精度(Фx,Фy, Фz)：0.001度=17urad
最大速度(X, Y, Z) :1mm/s
中心負載能力:200N
剛性(Z) :40N/m

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