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產品名稱:真空和超高真空Picomotor TM促動器
產品類型:致動器系列產品
產品型號:Picomotor
產品品牌:
行業應用:
  • 超真空版本適用於 10–9 托真空環境 ; 真空版本適用於10-6 托真空環境
  • 1/2", 1",和 2"行程,擁有旋轉及歐式版本可選
  • 較好的長期穩定性
 
我們改善了Picomotor促動器的性能,現在它們可以在真空(10-6 托) 或超真空 (10–9 托) 環境下工作,理想適用於VUV/EUV、光束控制和真空運動控制科研繫統中,真空性值得信賴。Picomotor 促動器能在行程範圍內提供30-nm 的分辨率,併擁有傑出的長期穩定性和高強度——即使在斷電情況也下維持其良好的定位能力。併且,其測試壽命 >15,000 圈 (>1 0億步) ,能輕易的將它集成到妳的各種繫統中去。

我們的Picomotor 促動器產品可輕鬆地集成到OEM產品和精密光束控制繫統中。

如果您需要無位移的旋轉運動控制,您可以使用8341型促動器。

Picomotor促動器可搭配8753智能驅動器或8703 型TTL/模擬驅動器使用。我們的調制iPico驅動器和控制器提供了在同一個控制網絡中建立一個引入多種標准和真空兼容Picomotor促動器繫統的能力。

標准型真空Picomotor促動器
Picomotor促動器在高分辨率應用中的註意事項:

我們所有的真空兼容和超高真空兼容Picomotor促動器都有採用Te?on®材料塗層的導線,所以您可以方便的連接到真空腔中的饋入裝置中去。然而,如果您同樣需要使用到X光線或者其他高輻射應用,我們建議您訂購一套Kapton®塗層擴展型導線。白色的Te?on可在高真空環境下使用,但我們不推薦在例如重復曝光X光線和其他輻射的高輻射環境中使用,這樣會對產品造成損傷,甚至導致短路。所以,如果您需要在高輻射環境使用我們的Picomotor促動器,請聯繫我們的技術人員訂購這些特殊環境應用的型號。
型號 8301-UHV
型號 8302-UHV
型號 8321-UHV
 

使用壽命
 
我們的標准型Picomotor™促動器的壽命超過15,000 圈。我們的測試程序包括一個5-lb軸嚮負載和一個圓形偏移的偏移大小為2 mm或1 mm嚮外的和1 mm 嚮內的負載。這就是我們產品的壽命在10億步的原因。

閉環真空Picomotor促動器
型號 8310-V
 
  • 適用於10–6 托真空環境
  • 經校准的高准確性定位技術,具有傳統Picomotor 促動器的優點
  • 兼容於我們的iPico™網絡控制器


8310-V型閉環Picomotor 促動器可理想適用於閉環控制和校准應用,與8310型閉環Picomotor促動器一樣, 8310-V型擁有一個旋轉編碼器,可提供正嚮、反嚮限位開關。它結合了Picomotor促動器的優點,分辨率<30-nm,可承受負載>5 lbs (22 N),以及較好的的長期穩定性和真空兼容性,在其行程內雙嚮重復性可達±1-µm。

用戶可以使用8751-CL型智能閉環驅動器來控制8310-V 型閉環Picomotor促動器。我們的調制智能Picomotor (iPico)驅動和控制器可提供能夠搭建多種標准Picomotor促動器以及同時搭建一個和多個閉環Picomotor促動器控制網絡的能力。


技術說明


使用閉環Picomotor™促動器達到納米級運動控制的一些技巧:


當接近目標編碼器的計數時,閉環Picomotor促動器可提供 <1-µm 重復性和63.5-nm 編碼器分辨率。 (實際馬達的步距要小得多——接近20 nm.) 為了達到恆定的納米性能,妳僅需了解一些註意事項即可。

使用前可在不銹鋼珠頂端和負載錶面之間塗上少量潤滑油來防止磨損和劃傷。我們推薦Krytox GPL 205 或低氣壓型油膏 LVP LCT-42.

保證在不銹鋼珠頂端和負載錶面之間沒有散落的碎片。即使有少量微米級的微粒也會使讀數和實際移動距離之間造成 0.1 到 10 微米的偏差。

只能用於推動光滑堅硬的平面,例如Newfocus的平移臺和鏡架。鋁或不銹鋼錶面會使不銹鋼珠脫落。如果負載錶面太軟,在不銹鋼珠頂端和負載錶面界面處會變形,導致錶面摩擦力增大,永久之後會使錶面粗糙,降低重復性。

不要推擠圓錐或V型區域,特別是鋁這類柔軟材料。當不銹鋼珠在柔軟物質裏摩擦圓錐或V型物體,產生的微粒會導致阻力增加。甚至使馬達停止轉動。

為了避免促動器螺紋收到傷害,請不要用任何堅硬物體觸碰螺紋區域。為了提供優良的分辨率,這些螺紋都十分精密。如果螺紋受損會直接影響產品的使用壽命。

避免過度夾緊馬達外殼。這會增加內部旋轉螺絲和外部固定外殼之間的摩擦力,從而導致馬達的運動速度變慢甚至徹底損壞,也同樣會損傷螺紋。

定期檢測不銹鋼珠頂端和負載錶面的磨損情況,及時採取必要的措施。

增強型 Picomotor™ 促動器

型號8330,帶有8338連接線
 
  • 可用於VUV/EUV和UHV環境中
  • 分辨率<30nm,採用非旋轉頂部設計
  • 使用壽命>5,000圈



促動器提供<30-nm的分辨率 (超過3mm行程範圍) ,併擁有較好的長期穩定性。它們無需額外的能量輸入就能長期定位,且硬度較高。由於體積緊湊,所以8330能被輕鬆集成到OEM產品中,同樣也能在光學儀器和光學平臺上實現更加精確的光束調整控制。其非旋轉的頂部設計能提供更高的分辨率

增強型Picomotor促動器經標准氣相色譜質譜聯用分析(GCMS)測試,在85 °C情況下超過三小時泄漏氣體少於0.1 ppm。質譜圖結果顯示泄漏氣體的成分符合標准。

我們提供兩種連接線 (需另外購買) 把促動器連接到驅動器 (型號8339),或先接一個反饋裝置,再到驅動器(型號 8338)。