LM-0120 激光幹涉儀 LM-0100 的技術擴展
技術激光幹涉儀的一個基本要素是即使在由於測量反射器位移期間初始調整的修改而可能建立的可變對比度條件下，也能安全地檢測亮/暗過渡（條紋）。為了補償這些影響，以光學方式產生相對於邊緣信號 A 相移 180° 的邊緣信號 C。通過隨後的電子比較器，幹擾直流偏移的部分可以從結果信號中消除。為了檢測測量反射器的位移方向，以光學方式產生相對於信號 A 相移 90° 的信號 B。此外，還創建了相對於信號C 90°相移的信號D。信號 B 和 D 也經過比較器處理以消除任何偏移。結果，創建了兩個彼此具有 90° 相移的無偏移條紋信號，從而允許通過應用正交編碼器原理進行方向辨別。與經典邁克爾遜幹涉儀的另一個重要區別在於，使用三重反射鏡代替鏡子，這樣光束就不會返回激光源。這種背向反射導致激光源的頻率和強度波動，從而偽造了條紋計數。這一擴展提供了將現有邁克爾遜幹涉儀轉變為技術型幹涉儀所需的所有光學組件。一個三重反射器安裝在平移臺上。所提供的千分尺的活塞銷牢固地接觸可移動三重反射器的背面。測量的想法是根據激光源的波長來校準儀表的顯示，激光源形成儀表的輔助標準。運動產生的條紋由所提供的前向計數器以波長 λ 的分數（如 λ/4、λ/8 甚至 λ/16）進行計數。