臭氧濃度通過多色彩的圖形畫面顯示出來，隨著臭氧濃度的增加，LED讀數會改變顏色：綠色表示安全濃度，黃色表示警告濃度，紅色表示危險濃度。兩種型號的臭氧監測儀均採用加熱金屬氧化物半導體(HMOS)感測器，靈敏度很高，回應速度很快。監測儀結構緊湊，外形尺寸為2-3/8英寸寬 x 3英寸高 x 1-3/8英寸厚。

固定式臭氧監測儀(帶報警功能)的測量範圍為0.02 到0.14 ppm (如果配有外部資料讀出系統，測量範圍可以達到0.2 至 0.30 ppm，甚至更多)。當臭氧濃度達到0.1 ppm (危險濃度)時，聲音報警動作。主要功能：資料可以輸出到資料記錄裝置；根據臭氧濃度可以控制外部設備運轉。 可擕式臭氧監測儀的測量範圍為0.02 到0.14 ppm。既可以安裝於工作現場，也可以帶到裝置區監測洩漏情況。包括可充電鎳氫電池(八小時使用時間)和交流適配器/充電器。