产品线

菲克科技 Feinixs - 提供用于精密定位的高速I高精度I高稳定性运动控制产品

Feinixs的产品系列主要包含：线性位移、旋转位移、垂直位移的运动控制产品，并提供配套的驱动控制器。

明立Meiritsu - 一家生产隔振台和光学面包板的制造商

产品涵盖光学平台、超大型平台、无磁平台、自由组合型平台等等，主动除振平台技术在国际间位居前列，在FPD领域集中的韩国，过关斩将，成为各大面板厂家设备的必选产品。已经在中国、韩国设立工厂，为当地客户提供定制化服务。公司通过ISO9001，ISO14000认证，为客户提供优质、有保障的产品和服务。

CEDRAT - 基于压电陶瓷的致动器和电机

为了满足不同的客户驱动规格，CEDRAT开发了不同系列的标准压电致动器及其相应的驱动器和控制器：

● 并联预应力致动器（PPA）
● 放大压电致动器（APA®）
● 压电位移台
● 快速转向镜
● 快速压电快门

EXCELITAS - LINOS - 精密光机产品

提供各种精密光机产品，包括Microbench Cage系列、Nanobench Cage系列、镜座、立柱、支架和位移台，以及封闭的Tube-C系列、导轨系列和耐用的X-95 Profile系列。

Feinixs的产品系列主要包含：线性位移、旋转位移、垂直位移的运动控制产品，并提供配套的驱动控制器。

• 电动平移台

电动平移台涵盖了范围⼴泛的精密线性定位平台, 用于实现精确平移运动。

• 电动旋转台

电动旋转台用于精确控制旋转角度和速度,用于进行精确的位置定位、测试、测量和加工等工作

• 电动升降台

电动升降台为三维扫描提供了Z轴位移,灵巧的设计让升降台可以应用于空间受限的场景。

• 运动系统

我们提供多轴的运动控制系统，并确保系统精度。除了普通版本外，我们也提供不锈钢版本、真空版本。

• 控制驱动

我们驱动控制覆盖：伺服电机、压电驱动、步进电机。

到目前为止，明立(Meiritz)积累的专业知识和专业能力已经生产了600多种被动隔振器,。随着超高精度制造业需求的不断增长，如半导体，明立(Meiritz)也推出了主动型的隔振器，来解决制造或实验过程中因振动带来的问题。

产品涵盖光学平台、超大型平台、无磁平台、自由组合型平台等等，主动隔振平台技术在国际间位居前列，在FPD领域集中的韩国，过关斩将，成为各大面板厂家设备的必选产品。已经在中国、韩国设立工厂，为当地客户提供定制化服务。公司通过ISO9001，ISO14000认证，为客户提供优质、有保障的产品和服务。

光学平台系统

• AYA 系列-采用蜂窝结构桌面的空气弹簧式隔振装置

蜂窝桌面空气弹簧式隔振装置，隔振性能升级，机构多样。
Meiritsu Seiki 专有的平行摆动机构增强了水平隔振性能。排除了垂直和水平各个方向的细微振动，满足干涉仪和全息术等光学实验的需要。此外，各结构的性能也得到了进一步改进。这是一种高性能的隔振装置，通过蜂窝面包板改善了面板的轻量化但保持了高刚性的特性。

应用行业：
• 光学和激光实验

工作台型光学隔振平台

• ADZ-A 系列- 桌子型空气弹簧隔振平台

兼具性价比、隔振性能和可操作性的新型系列。
ADZ-A系列是畅销的ADZ系列的高度升级版本。
隔振性能进一步增强，工作舒适性大大提高，并增加了更大的安装面板尺寸。此外，为了使安装在隔振器上的设备具有更好的可操作性，有许多选项可供选择。
这些因素共同创造了一种高性价比的隔振装置，无论设备类型或使用场所如何，都可以使用。

应用：

桌面型隔振平台

• AVT系列- 桌面型空气弹簧隔振平台

AVT系列是一款用来配套精密仪器的高性能台式隔振平台
此款台式减振平台采用先进的空气悬架式隔振器。所有隔振功能都集成在一个紧凑的主机上。共有16 种型号来应对不同的精密机器的特征和隔振需求，且能够简易地构建出高性能的隔振环境。

典型应用：

• ME系列-桌面型主动隔振平台

三维（六自由度）桌面型主动隔振平台
该平台可以控制三个维度（六个自由度）的振动，同时连续监测负载台的振动。通过内置的驱动器施加反向位的力，通过这种方式实现振动控制。

• AET系列- 桌面式钢蜂窝空气悬架隔振平台

集成了高性能隔振系统的桌面式钢蜂窝表面板空气弹簧式隔振光学平台
随着激光器本体和外围设备的小型化以及光纤技术的改进，光学实验通常不需要像过去那样长的光路。Meiritsu Seiki一直在提供一系列许多桌面型隔振设备。AET系列将其与钢蜂窝表面板相结合，是小面积光学实验的理想隔振装置。

应用：

隔振器

• MAPS 系列- 气动控制的主动隔振系统

六自由度主动控制为所有自由度的振动提供出色的隔振、阻尼和定位性能
MAPS 系列是一种主动隔振装置，它将所有必要的功能组合成一个紧凑的装置，因此可以很容易地集成到客户的设备中。

应用行业：
• 半导体

• MRZ系列-主动式气悬浮系统

在MAPS系列的基础上，我们开发了高性能、合理的主动气动悬架系统MRZ系列！

应用行业：
• 测量
• 半导体工业

应用：
• FPD、半导体设备、电子显微镜、UHV-SPM、测量仪器、超精密机等。

• AP大负载空气弹簧式隔振器

AP 系列产品是为精密仪器量身定做，由低成本、最适合您精密仪器的隔振系统构成的。
我们的隔振装置，除了具有优秀的性能外，更重视产品的灵活性。当今有越来越多的精密仪器需要将最匹配的隔振装置与精密仪器直接组装，能够满足这类客户需求的隔振装置就是我们的 AP 系列。该系列产品不仅拥有优越的隔振性能，还具有强大的拓展性。我们的 AP系列产品可以为您的精密仪器提供更为理想的隔振环境。

应用行业：
• 测量
• 半导体

应用：

明立的隔振产品广泛应用于下列领域：

• 显微镜系统
• 光学和激光实验
• 测量和称重仪器
• 半导体制造和精密加工
• 纳米表面分析
• 地震和防灾

CEDRAT位于格勒诺布尔附近的法国创新谷, 公司有70多名员工。

为了实现和谐发展，CEDRAT鼓励在员工和合作伙伴之间适用其价值观3C®：和谐(Concert)，协作（Collaboration），真诚（Cordiality）。

CEDRAT专注于以下领域：

● 智能驱动器：基于压电陶瓷、电活性聚合物、超声波效应、磁致伸缩合金、磁流变液（MRF）和磁效应（移动线圈、移动磁铁…）的驱动器和电机；应用：微纳定位、阻尼、振动产生、声学换能器、微执行器…
● 智能传感器：磁性、磁阻、磁致伸缩、压电传感器、变压器或发电机；力、扭矩、位置、速度、加速度传感器，包括非接触式传感器和共振传感器。
● 机电系统：多自由度机构（XY平台，倾斜）；运动控制；振动的主动阻尼；振动（超声波或声波）辅助加工；比例阀；快速注射器
● 检测系统：健康监测；利用磁或声效应进行无损检测；用于位置、力和扭矩远程测量的远程检测系统。
● 技术培训课程：CEDRAT 为希望发现、改进或恢复其机电产品、系统和技术知识的工程师和技术人员提供全面的培训课程。

凭借多年的经验，CEDRAT的广泛研发活动由多学科专家团队进行。其实验室配备了完整的工程软件库和专业测量仪器。

在标准产品和定制解决方案之间，CEDRAT提供了现有的“共用模块”，以更快地从规范过渡到完整的优化设计和评估原型。

基于智能材料的机电一体化产品广泛应用于精密快速驱动、光学、仪器和振动控制，满足航空航天和工业最严格的规范。

埃赛力达的LINOS®光机器件使用高精密度的工程技术和高级的材料，可确保在科学研究和光子创新中，提供出色的稳定性、可调节性和高性能。我们可以提供从Qioptiq®获得的各种精密光机产品，包括Microbench Cage系列、Nanobench Cage系列、镜座、立柱、支架和位移台，以及封闭的Tube-C系列、导轨系列和耐用的X-95 Profile系列。

LINOS面包板和安装板

埃赛力达的LINOS®面包板和安装板系列可以作为所有光学实验装置的开端。